Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 98084 Автор(ы) : Курочка С. П., Сергиенко А. А. Заглавие : Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии: методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций : Учебное пособие Выходные данные : Москва: Издательский Дом МИСиС, 2015 Колич.характеристики :82 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-87623-940-2: Б.ц. УДК : 62 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанолитография--наноразмерная гетероструктура--нанотехнология--одноэлектронный транзистор--полевой транзистор--электроника Аннотация: В результате анализа условий проявления квантово-размерных эффектов, возникающих в многослойных тонкопленочных структурах, уточнены требования к технологическим процессам формирования наноструктурированных гетерокомпозиций. Анализируются как базовые традиционные методы формирования с применением нанолитографии – молекулярно-лучевая эпитаксия и газофазная эпитаксия из металлоорганических соединений, так и специфические – зондовая нанотехнология и самоорганизация упорядоченных наноструктур на полупроводниковых подложках. В качестве практического применения наноструктурированных гетерокомпозиций рассмотрены конструкция и принцип работы полевого транзистора с высокой подвижностью носителей и одноэлектронный транзистор. Предназначено для магистрантов, обучающихся по направлениям 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника». Доп.точки доступа: Сергиенко, А. А.