Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 98097 Автор(ы) : Рабинович О. И., Крутогин Д. Г., Евсеев В. А. Заглавие : Основы технологии электронной компонентной базы: моделирование технологических процессов получения тонкопленочных материалов : Учебно-методическое пособие Выходные данные : Москва: Издательский Дом МИСиС, 2012 Колич.характеристики :81 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-87623-566-4: Б.ц. УДК : 539 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): компонентная база--модель--технологический процесс--тонкопленочный материал--электроника--эпитаксия Аннотация: В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Основы технологии электронной компонентной базы». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ. Доп.точки доступа: Крутогин, Д. Г.; Евсеев, В. А.