Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 98081 Автор(ы) : Кузнецов Г. Д., Симакин С. Б., Демченкова Д. Н. Заглавие : Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций : Курс лекций Выходные данные : Москва: Издательский Дом МИСиС, 2008 Колич.характеристики :191 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Цена : Б.ц. УДК : 539 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): ионный процесс--микротехнология--наноструктура--нанотехнология--пленочная гетерокомпозиция--пленочный материал--электроника Аннотация: В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра – Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярно-пучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений. Излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма. Приводятся примеры создания микро- и наноразмерных приборов микросистемной техники с использованием ионных процессов. Содержание курса лекций соответствует программе. Предназначен для студентов (бакалавров и магистров), обучающихся по направлениям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 «Нанотехнология», 210601 «Нанотехнология в электронике» и по специальности 210602 «Наноматериалы». Доп.точки доступа: Симакин, С. Б.; Демченкова, Д. Н.