Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 98113 Автор(ы) : Вяткин А. Ф. Заглавие : Взаимодействие лазерных, электронных и ионных пучков с поверхностью твердых тел. Ч.3. Взаимодействие ионных пучков с поверхностью твердых тел : Курс лекций Выходные данные : Москва: Издательский Дом МИСиС, 2001 Колич.характеристики :138 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Цена : Б.ц. УДК : 539 ББК : 22.3 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): ионная имплантация--ионный пучок--монокристалл--радиационный дефект--твердое тело--физический процесс Аннотация: В курсе лекций рассматриваются физические процессы, сопровождающие взаимодействие ионных пучков с твердыми телами. Решаются задачи определения пробега ионов в твердых телах и их распределение. Подробно рассматриваются процессы обратного рассеяния ионов, ионной имплантации, распыления твердых тел ионной бомбардировкой. Детально описываются процессы каналирования ионов в монокристаллических твердых телах и использование этого явления для анализа структуры поверхностных слоев монокристаллов. Предназначен для студентов, обучающихся по специальностям 5401, 0709, и 0710.