Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 98065 Автор(ы) : Бублик В. Т., Щербачев К. Д. Заглавие : Дифракционные методы изучения поверхностных слоев и приборных структур : Учебное пособие Выходные данные : Москва: Издательский Дом МИСиС, 2001 Колич.характеристики :100 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Цена : Б.ц. УДК : 548 ББК : 30.3 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): деформация--дифракционный метод--поверхностный слой--приборная структура--рентгеновское излучение Аннотация: Содержание предлагаемого пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», читаемому в качестве спецкурса студентам специальности 071000 «Материаловедение и новые технологии». В нем кратко изложены теоретические основы дифракционных методов изучения структуры поверхности и основы дифрактометрии высокого разрешения, рассматриваемой в качестве основного инструментального метода. Показана связь деформаций в сложных многослойных структурах с измеряемыми рентгенодифрактометрическими методами характеристиками: средними деформациями, усредненными по толщине гетероструктуры, профилями деформации, кривизной. Пособие по этой тематике издается впервые. Необходимость издания определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует. Доп.точки доступа: Щербачев, К. Д.