Фундаментальная библиотека ФГБОУ ВО СПХФУ Минздрава России

Версия для слабовидящих: Вкл Выкл Изображения: Вкл Выкл Размер шрифта: A A A Цветовая схема: A A A A

Главная

ИРБИС64+

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

ЭБС IPRBooks- результаты поиска

Вид поиска

Электронный каталог

Картотека журнальных статей

Систематический имидж-каталог

Авторефераты диссертаций

Учебники и учебно-методические пособия СПХФУ

ЭБС IPRBooks

ЭБС Консультант студента

ЭБС Юрайт

Диссертации, защищенные в СПХФУ

Журнальный фонд СПХФУ

Библиотечный фонд техникума

ВКР

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=кремниевая пластина<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 67752
Автор(ы) : Камлюк В. С., Камлюк Д. В.
Заглавие : Технологическое оборудование для микроэлектроники : Учебное пособие
Выходные данные : Минск: Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2014
Колич.характеристики :392 с
Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
ISBN, Цена 978-985-503-369-2: Б.ц.
УДК : 62
ББК : 32.84
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): вакуумная система--кремниевая пластина--микросхема--микроэлектроника--технологическое оборудование
Аннотация: Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования. Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.
(для доступа требуется авторизация)

Тематический навигатор

Статистика обращений

Статистика за 30.06.2024
Число запросов	0
Число посетителей	0
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)