Версия для слабовидящих: Вкл Выкл Изображения: Вкл Выкл Размер шрифта: A A A Цветовая схема: A A A A
Главная ИРБИС64+ Упрощенный режим Описание
Авторизация
Логин
Пароль
 

Базы данных


ЭБС IPRBooks- результаты поиска

Вид поиска
Электронный каталог
Картотека журнальных статей
Систематический имидж-каталог
Авторефераты диссертаций
Учебники и учебно-методические пособия СПХФУ
ЭБС IPRBooks
ЭБС Консультант студента
ЭБС Юрайт
Диссертации, защищенные в СПХФУ
Журнальный фонд СПХФУ
Библиотечный фонд техникума
ВКР
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=литография<.>)
Общее количество найденных документов : 6
Показаны документы с 1 по 6
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 65811
Автор(ы) : Гатчин Ю. А., Гатчин Ю. А., Ткалич В. Л., Виволанцев А. С., Дудников Е. А.
Заглавие : Введение в микроэлектронику : Учебное пособие
Выходные данные : Санкт-Петербург: Университет ИТМО, 2010
Колич.характеристики :114 с
Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Цена : Б.ц.
УДК : 62
ББК : 32.84
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): диагностический контроль--интегральная схема--литография--микроэлектроника--тонкая пленка
Аннотация: В учебном пособии рассмотрены физические основы микроэлектроники, интегральные схемы и их технологии производства. Учебное пособие соответствует утвержденным учебным программам по направлениям 210202 — «Проектирование и технология электронно-вычислительных средств» для специалистов и 210200.05 — «Информационные технологии проектирования электронных средств» для магистров техники и технологии, а также 200100 и 200101 — «Приборостроение» для бакалавров и дипломированных специалистов. Предназначено для студентов и магистров факультетов КТиУ и ТМиТ, изучающих дисциплины «Физические основы микроэлектроники.
(для доступа требуется авторизация)

Найти похожие
2.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 67435
Автор(ы) : Ворзобова Н. Д., Денисюк И. Ю.
Заглавие : Оптические методы формирования микроэлементов информационных систем : Учебное пособие
Выходные данные : Санкт-Петербург: Университет ИТМО, 2008
Колич.характеристики :77 с
Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Цена : Б.ц.
УДК : 535
ББК : 32.81
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): голография--литография--микроструктура--оптика--физика--фотоника
Аннотация: В учебном пособии рассмотрены процессы формирования микроструктурных элементов фотоники и информационных систем, основанные на методах оптической литографии, голографии и фотоотверждения полимеров. Приведены основы современных технологий получения элементов и структур микронных, субмикронных и нано-размеров. Пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоинформатика», а также студентов других оптических и информационных специальностей
(для доступа требуется авторизация)

Найти похожие
3.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 98939
Автор(ы) : Кузнецов Г. Д., Кушхов А. Р., Билалов Б. А.
Заглавие : Элионная технология в микро- и наноиндустрии : Курс лекций
Выходные данные : Москва: Издательский Дом МИСиС, 2008
Колич.характеристики :156 с
Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Цена : Б.ц.
УДК : 62
ББК : 32.85
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): ионная имплантация--литография--нанотехнология--электроника--элионная технология
Аннотация: В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии. Учитывая, что в рассматриваемых процессах основную роль играют электроны и ионы, принято для краткости называть технологию элионной. Соответствует программе курса «Элионная технология в микро- и нано-индустрии». Предназначено для подготовки специалистов по направлению 210100 «Электроника и микроэлектроника» и может быть полезно для обучающихся по направлению 210600 «Нанотехнология», 210601 «Нанотехнология в электронике» и по специальности 210602 «Наноматериалы».
(для доступа требуется авторизация)

Найти похожие
4.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 73345
Автор(ы) : Хорин И. А.
Заглавие : Технологии электронной компонентной базы : Учебное пособие
Выходные данные : Саратов: Ай Пи Эр Медиа, 2018
Колич.характеристики :278 с
Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
ISBN, Цена 978-5-4486-0210-8: Б.ц.
УДК : 62
ББК : 32.85
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): компонентная база--нанотехнология--полупроводник--радиоэлектроника--технология
Аннотация: В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии «Кремний на изоляторе» и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
(для доступа требуется авторизация)

Найти похожие
5.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 56066
Автор(ы) : Юрчук С. Ю.
Заглавие : Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами : Курс лекций
Выходные данные : Москва: Издательский Дом МИСиС, 2013
Колич.характеристики :45 с
Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
ISBN, Цена 978-5-87623-662-3: Б.ц.
УДК : 539
ББК : 32.81
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): математическое моделирование--субмикронная структура--фотолитография--электронная литография
Аннотация: Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываются на процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, который вносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости. Предназначен для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника».
(для доступа требуется авторизация)

Найти похожие
6.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 13950
Автор(ы) : Данилина Т. И., Чистоедова И. А.
Заглавие : Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники : Учебное пособие
Выходные данные : Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Эль Контент, 2011
Колич.характеристики :96 с
Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
ISBN, Цена 978-5-91191-202-3: Б.ц.
УДК : 621.382
ББК : 32.852
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): куф-диапазон--нанолитография--наноэлектроника--оптическая литография--уф-диапазон--эуф-диапазон
Аннотация: Освещаются следующие разделы в области создания и исследования объектов наноэлектроники: нанолитография, оптическая литография, УФ-, КУФ-, ЭУФ- диапазоны, литография сканирующими электронными и ионными пучками, оборудование для получения остросфокусированных пучков электронов и ионов, наноимпринтинговая литография, технология наноразмерных структур и методы исследования с помощью сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ), оборудование и методики применения СЗМ для технологических целей, технологии изготовления наноструктур с помощью сфокусированного ионного пучка (FIB-технология), технология наноструктурирования, самоформирующиеся 3D-наноструктуры для приборов наноэлектроники и наномеханики. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ- диапазона и дискретных полупроводниковых приборов
(для доступа требуется авторизация)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика обращений
Статистика
за 05.07.2024
Число запросов 0
Число посетителей 0
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)