Версия для слабовидящих: Вкл Выкл Изображения: Вкл Выкл Размер шрифта: A A A Цветовая схема: A A A A
Главная ИРБИС64+ Упрощенный режим Описание
Авторизация
Логин
Пароль
 

Базы данных


ЭБС IPRBooks- результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=фотолитография<.>)
Общее количество найденных документов : 6
Показаны документы с 1 по 6
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 68508
Автор(ы) : Кручинин Д. Ю., Фарафонтова Е. П.
Заглавие : Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : Учебное пособие
Выходные данные : Екатеринбург: Уральский федеральный университет, ЭБС АСВ, 2014
Колич.характеристики :52 с
Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
ISBN, Цена 978-5-7996-1110-1: Б.ц.
УДК : 776
ББК : 37.83я73
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): зеркальное покрытие--маскирующее покрытие--оптическая деталь--оптическая шкала--производство детали--фотолитографическая технология--фотолитографическое оборудование--фотолитография--фоторезист--фотошаблон
Аннотация: Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографическими технологиями.
(для доступа требуется авторизация)

Найти похожие

2.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 56066
Автор(ы) : Юрчук С. Ю.
Заглавие : Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами : Курс лекций
Выходные данные : Москва: Издательский Дом МИСиС, 2013
Колич.характеристики :45 с
Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
ISBN, Цена 978-5-87623-662-3: Б.ц.
УДК : 539
ББК : 32.81
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): математическое моделирование--субмикронная структура--фотолитография--электронная литография
Аннотация: Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываются на процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, который вносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости. Предназначен для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника».
(для доступа требуется авторизация)

Найти похожие

3.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 65369
Автор(ы) : Мешковский И. К., Новиков А. Ф., Токарев А. В.
Заглавие : Химия радиоматериалов. Часть 2. Поверхность и ее обработка: Учебное пособие. Химия радиоматериалов. Часть 2. Поверхность и ее обработка
Выходные данные : : Университет ИТМО Б.м., 2015
Колич.характеристики :124 с
Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
ISBN, Цена 978-5-600-00863-2: Б.ц.
УДК : 62
ББК : 24.5
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): радиоматериал--твердое тело--поверхность--физическая адсорбция--металлизация--ионная имплантация--фотолитография
Аннотация: Учебное пособие соответствует государственному образовательному стандарту дисциплины «Химия радиоматериалов» для студентов ряда специальностей Университета ИТМО, пособие освещает достаточно трудные для усвоения, но важнейшие для дальнейшего обучения разделы. Основное внимание уделено современным физическим представлениям о структуре и свойствах поверхности твердого тела, а также о физико-химических и химических процессах на поверхности. Предназначено прежде всего для магистров по направлению подготовки: 21.07.00 «Инфокоммуникационные технологии и системы связи», профиль: 21.07.00.60 «Оптические системы и сети связи», учебная дисциплина – «Нанотехнологии в волоконной оптике». Отдельные разделы могут быть рекомендованы также магистрам направления 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств» в рамках специализации «Проектирование безопасных компьютерных систем».
(для доступа требуется авторизация)

Найти похожие

4.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 24140
Автор(ы) : Агравал Амит, Бетагери Гуру, Блэкборн Уильям, Бхаттачариа Субхабрата, Вазир Джасприт, Валмикинантан Чандра, Ван Дзюньпин, Ван И-Нин, Ван Май, Гасиоровски Джошуа, Гонсалвес Кеннет, Гуань Цзиньцзяо, Демирси Уткан, Добсон Джон, Докмеси Мехмет, Дубе Никхил, Дутта Джойдип, Ингбер Дональд, Катти Дхирендра, Коллингвуд Джоанна, Кофрон Мишель, Кумбар Сангамеш, Лабхасетвар Винод, Лайон Эндрю, Леле Танмей, Ли Л., Ли Цзяньвэй, Ли Юун-Сик, Лилиенсик Сара, Лоренсин Като, Лу Хелен, Мвенифумбо Стив, Мерфи Кристофер, Моррисон Дэвид, Наир С., Не Шумин, Нили Пол, Нукаварапу Сиам, Райт Ли, Рассел Пол, Роджерс Аманда, Сингх Ниту, Соппимат Кумераш, Стивенс Молли, Тань Вэйхун, Фоли Джон, Фриман Джозеф, Хадемхоссейни Али, Хальберштадт Крейг, Хе Хунъянь, Хэ Вэй, Цао Цзехуэй, Чэнь Янь, Чо Мьюнг-Хаинг, ЮйБо, Юй Сяогунь
Заглавие : Наноструктуры в биомедицине
Выходные данные : Москва: Лаборатория знаний, 2020
Колич.характеристики :536 с
Примечания : Книга не входит в Премиум-версию ЭБС IPRbooks.
ISBN, Цена 978-5-00101-729-5: Б.ц.
УДК : 57
ББК : 58
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): биоконъюгированные гидрогели--биомедицина--ионная имплантация--молекулярный наномотор--наноструктура--фотолитография
Аннотация: Книга представляет собой обзор исследований, посвященных вопросам применения наноструктурированных материалов в целях ранней диагностики опасных болезней, адресной доставки лекарств к пораженным тканям и органам, разработок принципиально новых методов терапии и хирургии, создания молекулярных инструментов и нанохирургии, протезирования, трансплантации и регенерации тканей и решения других биомедицинских задач. Авторский коллектив объединил ученых США, Великобритании, Индии и Кореи. Для исследователей и клиницистов, а также преподавателей и студентов, заинтересованных в получении знаний по нанобиотехнологиям.
(для доступа требуется авторизация)

Найти похожие

5.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 98352
Автор(ы) : Родионов Ю. А.
Заглавие : Производство гибридных интегральных схем : Учебное пособие
Выходные данные : Москва, Вологда: Инфра-Инженерия, 2020
Колич.характеристики :300 с
Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
ISBN, Цена 978-5-9729-0460-0: Б.ц.
УДК : 621
ББК : 32.844
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральная схема--магнетронное нанесение--фотолитография--электрохимическое нанесение--элементы гис
Аннотация: Рассмотрены особенности изготовления гибридных интегральных схем: диэлектрическая подложка на основе низкотемпературной керамики, подвесные активные элементы, толстоплёночные пассивные элементы. Уделено внимание технологии и компоновке элементов. Приводятся конкретные примеры из производства гибридных интегральных схем. Изложены технические приёмы и оборудование монтажа навесных элементов. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
(для доступа требуется авторизация)

Найти похожие

6.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 87896
Автор(ы) : Кручинин Д. Ю., Фарафонтова Е. П.
Заглавие : Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : Учебное пособие для СПО
Выходные данные : Саратов, Екатеринбург: Профобразование, Уральский федеральный университет, 2019
Колич.характеристики :49 с
Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
ISBN, Цена 978-5-4488-0454-0, 978-5-7996-2891-8: Б.ц.
УДК : 68
ББК : 22.3
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): зеркальное покрытие--оптическая деталь--оптическая шкала--топология--фотолитография
Аннотация: В учебном пособии изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал, рассматриваются оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Учебное пособие предназначено для изучения дисциплин «Оборудование и технология обработки оптических деталей», «Технология изготовления оптических деталей» по укрупненной группе специальностей и профессий среднего профессионального образования 12.00.00 «Фотоника, приборостроение, оптические и биотехнические системы и технологии».
(для доступа требуется авторизация)

Найти похожие

 
Статистика
за 01.07.2024
Число запросов 0
Число посетителей 0
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)