Фундаментальная библиотека ФГБОУ ВО СПХФУ Минздрава России

Версия для слабовидящих: Вкл Выкл Изображения: Вкл Выкл Размер шрифта: A A A Цветовая схема: A A A A

Главная

ИРБИС64+

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

ЭБС IPRBooks- результаты поиска

Вид поиска

Электронный каталог

Картотека журнальных статей

Систематический имидж-каталог

Авторефераты диссертаций

Учебники и учебно-методические пособия СПХФУ

ЭБС IPRBooks

ЭБС Консультант студента

ЭБС Юрайт

Диссертации, защищенные в СПХФУ

Журнальный фонд СПХФУ

Библиотечный фонд техникума

ВКР

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=тонкая пленка<.>)

Общее количество найденных документов : 9
Показаны документы с 1 по 9

IPRBooks-31877

31877

Берлин, Б. В.
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением [Электронный ресурс] / Берлин Б. В. - Москва : Техносфера, 2014. - 256 с. - ISBN 978-5-94836-369-1 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:

УДК

621.78

ББК 34.65

Кл.слова (ненормированные):
магнетронное распыление -- нанесение покрытия -- реактивное распыление -- тонкая пленка
Аннотация: Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава. Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

(для доступа требуется авторизация)

Доп.точки доступа:
Сейдман, Л. А.
Свободных экз. нет
Найти похожие

IPRBooks-65387

65387

Левичев, В. В.
Электронные и фотонные устройства [Электронный ресурс] : принцип работы, технологии изготовления / Левичев В. В. - Санкт-Петербург : Университет ИТМО, 2015. - 68 с. - Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:

УДК

ББК 22.3

Кл.слова (ненормированные):
лазер -- нанотехнология -- тонкая пленка -- фотонное устройство -- чистый кристалл -- электронное устройство
Аннотация: Описание устройств и методов нанотехнологий, изложенные в данном пособии, позволят понять основные принципы использования квантомеханических явлений в приборостроении. Пособие предназначено для магистров по направлению 12.04.01 «Приборы исследования и модификации материалов на микро- и наноразмерном уровне».

(для доступа требуется авторизация)

Свободных экз. нет
Найти похожие

IPRBooks-71504

71504

Поляков, В. И.
Проектирование гибридных тонкопленочных интегральных микросхем [Электронный ресурс] : учебное пособие по дисциплине «Конструкторско-технологическое обеспечение производства ЭВМ» / Поляков В. И. - Санкт-Петербург : Университет ИТМО, 2011. - 80 с. - Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:

УДК

ББК 22.3

Кл.слова (ненормированные):
вычислительная техника -- информационная система -- микросхема -- проектирование -- тонкая пленка
Аннотация: В пособии изложен материал по проектированию тонкопленочных гибридных интегральных схем. Описаны методы получения тонких пленок. Рассмотрены основные принципы проектирования топологии гибридных интегральных схем и методика расчета тонкопленочных резисторов и конденсаторов. В приложении приводятся варианты заданий. Пособие предназначено для самостоятельной работы студентов специальностей 230100 и 231000, изучающих дисциплину «Конструкторско-технологическое обеспечение производства ЭВМ».

(для доступа требуется авторизация)

Доп.точки доступа:
Стародубцев, Э. В.
Свободных экз. нет
Найти похожие

IPRBooks-65770

65770

Коншина, Е. А.
Аморфный гидрогенизированный углерод и применение его в оптических устройствах [Электронный ресурс] / Коншина Е. А. - Санкт-Петербург : Университет ИТМО, 2010. - 93 с. - Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:

УДК

535

ББК 22.3

Кл.слова (ненормированные):
аморфный углерод -- оптическое устройство -- спектроскопия -- тонкая пленка -- электронная структура
Аннотация: В монографии представлены результаты экспериментальных исследований структуры и свойств аморфного гидрогенизированного углерода оптическими методами. Приводятся оригинальные результаты, полученные с помощью инфракрасной спектроскопии, спектроскопии комбинационного рассеяния света и адсорбционной спектроскопии в видимой области спектра, пленок, полученных химическим осаждением из паров углеводородов с помощью плазмы тлеющего разряда на постоянном токе. Обсуждаются особенности ближнего и среднего порядка атомной структуры тонких пленок аморфного углерода, а также их электронная структура, оптические и электрические свойства. Приводятся результаты исследования возможности их использования для защиты и просветления оптических элементов инфракрасной техники и лазеров, а также в качестве светоблокирующих и ориентирующих слоев в оптических жидкокристаллических устройствах. Монография предназначена для специалистов в области физики конденсированных сред, а также для аспирантов и магистров физико-технических специальностей.

(для доступа требуется авторизация)

Свободных экз. нет
Найти похожие

IPRBooks-65811

65811

Гатчин, Ю. А.
Введение в микроэлектронику [Электронный ресурс] : учебное пособие / Гатчин Ю. А. - Санкт-Петербург : Университет ИТМО, 2010. - 114 с. - Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:

УДК

ББК 32.84

Кл.слова (ненормированные):
диагностический контроль -- интегральная схема -- литография -- микроэлектроника -- тонкая пленка
Аннотация: В учебном пособии рассмотрены физические основы микроэлектроники, интегральные схемы и их технологии производства. Учебное пособие соответствует утвержденным учебным программам по направлениям 210202 — «Проектирование и технология электронно-вычислительных средств» для специалистов и 210200.05 — «Информационные технологии проектирования электронных средств» для магистров техники и технологии, а также 200100 и 200101 — «Приборостроение» для бакалавров и дипломированных специалистов. Предназначено для студентов и магистров факультетов КТиУ и ТМиТ, изучающих дисциплины «Физические основы микроэлектроники.

(для доступа требуется авторизация)

Доп.точки доступа:
Ткалич, В. Л.; Виволанцев, А. С.; Дудников, Е. А.
Свободных экз. нет
Найти похожие

IPRBooks-98799

98799

Твердохлеб, П. Е.
Оптические свойства тонких диэлектрических пленок [Электронный ресурс] : учебное пособие / Твердохлеб П. Е. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2019. - 87 с. - ISBN 978-5-7782-3974-6 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:

УДК

539

ББК 22.3

Кл.слова (ненормированные):
диэлектрическая пленка -- оптическое свойство -- световая волна -- тонкая пленка -- электромагнитная теория
Аннотация: Пособие посвящено изучению отражающих и пропускающих свойств тонких диэлектрических пленок с единых позиций волновой теории электромагнитного поля. Моделью пленки является трехслойная диэлектрическая структура: «подложка–пленка–защитный слой». Изложены физические основы работы такой структуры в режимах прохождения ТЕ- и ТМ-поляризованных световых волн, в том числе и с полным внутренним отражением на нижней границе раздела диэлектрических сред. Получены формулы для нахождения амплитудных и энергетических коэффициентов отражения и пропускания диэлектрических пленок. Исследованы зависимости таких коэффициентов от длины волны, углов наклона и состояния поляризации световых волн, а также от оптической толщины пленок. Включены вопросы, задачи и расчетно-графические задания, способствующие более глубокому пониманию физических процессов распространения и преобразования световых волн в тонких диэлектрических пленках и методов их компьютерного моделирования. Предназначено для магистров и бакалавров по направлениям 12.03.02 – Оптотехника, 12.03.03 – Фотоника и оптоинформатика, 12.04.02 – Оптотехника, а также для аспирантов по специальности 05.11.07 Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы.

(для доступа требуется авторизация)

Доп.точки доступа:
Пономарева, М. А.
Свободных экз. нет
Найти похожие

IPRBooks-98748

98748

Васильев, В. Ю.
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие / Васильев В. Ю. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2019. - 107 с. - ISBN 978-5-7782-3915-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:

УДК

ББК 32.85

Кл.слова (ненормированные):
газовая фаза -- микроэлектроника -- наноэлектроника -- неорганический материал -- тонкая пленка
Аннотация: Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований, начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники, показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий, рассмотрены тенденции развития, типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС, технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния, свойства ТП материалов. Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины «Семинары по специальности», образовательная программа: 11.04.04. «Электроника и наноэлектроника», магистерская программа «Микро- и наноэлектроника». Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника»), 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», представляет интерес для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.

(для доступа требуется авторизация)

Свободных экз. нет
Найти похожие

IPRBooks-97805

97805

Энергетическая релаксация квазичастиц в сверхпроводниковых пленках нитрида титана и легированных бором пленках алмаза [Электронный ресурс] : монография / Кардакова А. И. - Москва : Московский педагогический государственный университет, 2017. - 114 с. - ISBN 978-5-4263-0569-4 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:

УДК

530

ББК 22.2

Кл.слова (ненормированные):
алмазная пленка -- сверхпроводник -- титан -- тонкая пленка -- электрон -- энергетическая релаксация
Аннотация: Монография посвящена экспериментальному исследованию процессов энергетической релаксации неравновесного резистивного состояния в сверхпроводниковых пленках нитрида титана (TiN) и легированных бором пленках алмаза (C:B). Результаты экспериментального исследования дают новые сведения о характерных временах и механизмах энергетической релаксации в сверхпроводниковых пленках нитрида титана и легированных бором пленках алмаза. Данные сведения имеют важное значение при разработке и создании детекторов электромагнитного (ЭМ) излучения. Монография предназначена для студентов старших курсов, аспирантов и начинающих исследователей, работающих в области сверхпроводниковой наноэлектроники и радиофизики.

(для доступа требуется авторизация)

Доп.точки доступа:
Кардакова, А. И.; Рябчун, С. А.; Ан, П. П.; Гольцман, Г. Н.
Свободных экз. нет
Найти похожие

IPRBooks-97909

97909

Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий [Электронный ресурс] : учебно-методическое пособие / Рабинович О. И. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2015. - 89 с. - Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:

УДК

ББК 32.85

Кл.слова (ненормированные):
микротехнология -- нанотехнология -- тонкая пленка -- химический метод -- электроника -- эпитаксия
Аннотация: В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ.

(для доступа требуется авторизация)

Доп.точки доступа:
Рабинович, О. И.; Крутогин, Д. Г.; Подгорная, С. В.; Маренкин, С. Ф.
Свободных экз. нет
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

Статистика за 03.06.2024
Число запросов	0
Число посетителей	0
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)