Фундаментальная библиотека ФГБОУ ВО СПХФУ Минздрава России

Версия для слабовидящих: Вкл Выкл Изображения: Вкл Выкл Размер шрифта: A A A Цветовая схема: A A A A

Главная

ИРБИС64+

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

ЭБС IPRBooks- результаты поиска

Вид поиска

Электронный каталог

Картотека журнальных статей

Систематический имидж-каталог

Авторефераты диссертаций

Учебники и учебно-методические пособия СПХФУ

ЭБС IPRBooks

ЭБС Консультант студента

ЭБС Юрайт

Диссертации, защищенные в СПХФУ

Журнальный фонд СПХФУ

Библиотечный фонд техникума

ВКР

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=фотолитография<.>)

Общее количество найденных документов : 6
Показаны документы с 1 по 6

IPRBooks-68508

68508

Кручинин, Д. Ю.
Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей [Электронный ресурс] : учебное пособие / Кручинин Д. Ю. - Екатеринбург : Уральский федеральный университет, ЭБС АСВ, 2014. - 52 с. - ISBN 978-5-7996-1110-1 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:

УДК

776

ББК 37.83я73

Кл.слова (ненормированные):
зеркальное покрытие -- маскирующее покрытие -- оптическая деталь -- оптическая шкала -- производство детали -- фотолитографическая технология -- фотолитографическое оборудование -- фотолитография -- фоторезист -- фотошаблон
Аннотация: Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографическими технологиями.

(для доступа требуется авторизация)

Доп.точки доступа:
Фарафонтова, Е. П.
Свободных экз. нет
Найти похожие

IPRBooks-56066

56066

Юрчук, С. Ю.
Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами [Электронный ресурс] : курс лекций / Юрчук С. Ю. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2013. - 45 с. - ISBN 978-5-87623-662-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:

УДК

539

ББК 32.81

Кл.слова (ненормированные):
математическое моделирование -- субмикронная структура -- фотолитография -- электронная литография
Аннотация: Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываются на процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, который вносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости. Предназначен для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника».

(для доступа требуется авторизация)

Свободных экз. нет
Найти похожие

IPRBooks-65369

65369

Химия радиоматериалов. Часть 2. Поверхность и ее обработка [Электронный ресурс] : учебное пособие. - [Б. м.] : Университет ИТМО, 2015 - .Химия радиоматериалов. Часть 2. Поверхность и ее обработка / Мешковский И. К. - 2015. - 124 с. - ISBN 978-5-600-00863-2 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:

УДК

ББК 24.5

Кл.слова (ненормированные):
радиоматериал -- твердое тело -- поверхность -- физическая адсорбция -- металлизация -- ионная имплантация -- фотолитография
Аннотация: Учебное пособие соответствует государственному образовательному стандарту дисциплины «Химия радиоматериалов» для студентов ряда специальностей Университета ИТМО, пособие освещает достаточно трудные для усвоения, но важнейшие для дальнейшего обучения разделы. Основное внимание уделено современным физическим представлениям о структуре и свойствах поверхности твердого тела, а также о физико-химических и химических процессах на поверхности. Предназначено прежде всего для магистров по направлению подготовки: 21.07.00 «Инфокоммуникационные технологии и системы связи», профиль: 21.07.00.60 «Оптические системы и сети связи», учебная дисциплина – «Нанотехнологии в волоконной оптике». Отдельные разделы могут быть рекомендованы также магистрам направления 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств» в рамках специализации «Проектирование безопасных компьютерных систем».

(для доступа требуется авторизация)

Доп.точки доступа:
Новиков, А. Ф.; Токарев, А. В.
Свободных экз. нет
Найти похожие

IPRBooks-24140

24140

Наноструктуры в биомедицине [Электронный ресурс] : учебное пособие / Агравал Амит. - Москва : Лаборатория знаний, 2020. - 536 с. - ISBN 978-5-00101-729-5 : Б. ц.
Книга не входит в Премиум-версию ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:

УДК

ББК 58

Кл.слова (ненормированные):
биоконъюгированные гидрогели -- биомедицина -- ионная имплантация -- молекулярный наномотор -- наноструктура -- фотолитография
Аннотация: Книга представляет собой обзор исследований, посвященных вопросам применения наноструктурированных материалов в целях ранней диагностики опасных болезней, адресной доставки лекарств к пораженным тканям и органам, разработок принципиально новых методов терапии и хирургии, создания молекулярных инструментов и нанохирургии, протезирования, трансплантации и регенерации тканей и решения других биомедицинских задач. Авторский коллектив объединил ученых США, Великобритании, Индии и Кореи. Для исследователей и клиницистов, а также преподавателей и студентов, заинтересованных в получении знаний по нанобиотехнологиям.

(для доступа требуется авторизация)

Доп.точки доступа:
Агравал, Амит; Бетагери, Гуру; Блэкборн, Уильям; Бхаттачариа, Субхабрата; Вазир, Джасприт; Валмикинантан, Чандра; Ван, Дзюньпин; Ван, И-Нин; Ван, Май; Гасиоровски, Джошуа; Гонсалвес, Кеннет; Гуань, Цзиньцзяо; Демирси, Уткан; Добсон, Джон; Докмеси, Мехмет; Дубе, Никхил; Дутта, Джойдип; Ингбер, Дональд; Катти, Дхирендра; Коллингвуд, Джоанна; Кофрон, Мишель; Кумбар, Сангамеш; Лабхасетвар, Винод; Лайон, Эндрю; Леле, Танмей; Ли, Л.; Ли, Цзяньвэй; Ли, Юун-Сик; Лилиенсик, Сара; Лоренсин, Като; Лу, Хелен; Мвенифумбо, Стив; Мерфи, Кристофер; Моррисон, Дэвид; Наир, С.; Не, Шумин; Нили, Пол; Нукаварапу, Сиам; Райт, Ли; Рассел, Пол; Роджерс, Аманда; Сингх, Ниту; Соппимат, Кумераш; Стивенс, Молли; Тань, Вэйхун; Фоли, Джон; Фриман, Джозеф; Хадемхоссейни, Али; Хальберштадт, Крейг; Хе, Хунъянь; Хэ, Вэй; Цао, Цзехуэй; Чэнь, Янь; Чо, Мьюнг-Хаинг; ЮйБо; Юй, Сяогунь; Гонсалвес, Кеннет \ред.\; Хальберштадт, Крейг \ред.\; Бусева, С. А. \пер.\; Мосолова, Т. П. \пер.\
Свободных экз. нет
Найти похожие

IPRBooks-98352

98352

Родионов, Ю. А.
Производство гибридных интегральных схем [Электронный ресурс] : учебное пособие / Родионов Ю. А. - Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2020. - 300 с. - ISBN 978-5-9729-0460-0 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:

УДК

621

ББК 32.844

Кл.слова (ненормированные):
интегральная схема -- магнетронное нанесение -- фотолитография -- электрохимическое нанесение -- элементы гис
Аннотация: Рассмотрены особенности изготовления гибридных интегральных схем: диэлектрическая подложка на основе низкотемпературной керамики, подвесные активные элементы, толстоплёночные пассивные элементы. Уделено внимание технологии и компоновке элементов. Приводятся конкретные примеры из производства гибридных интегральных схем. Изложены технические приёмы и оборудование монтажа навесных элементов. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.

(для доступа требуется авторизация)

Свободных экз. нет
Найти похожие

IPRBooks-87896

87896

Кручинин, Д. Ю.
Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей [Электронный ресурс] : учебное пособие для СПО / Кручинин Д. Ю. - Саратов, Екатеринбург : Профобразование, Уральский федеральный университет, 2019. - 49 с. - ISBN 978-5-4488-0454-0, 978-5-7996-2891-8 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:

УДК

ББК 22.3

Кл.слова (ненормированные):
зеркальное покрытие -- оптическая деталь -- оптическая шкала -- топология -- фотолитография
Аннотация: В учебном пособии изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал, рассматриваются оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Учебное пособие предназначено для изучения дисциплин «Оборудование и технология обработки оптических деталей», «Технология изготовления оптических деталей» по укрупненной группе специальностей и профессий среднего профессионального образования 12.00.00 «Фотоника, приборостроение, оптические и биотехнические системы и технологии».

(для доступа требуется авторизация)

Доп.точки доступа:
Фарафонтова, Е. П.; Дерябина, В. А. \ред.\
Свободных экз. нет
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

Статистика за 29.06.2024
Число запросов	0
Число посетителей	0
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)