Версия для слабовидящих: Вкл Выкл Изображения: Вкл Выкл Размер шрифта: A A A Цветовая схема: A A A A
Главная ИРБИС64+ Упрощенный режим Описание
Авторизация
Логин
Пароль
 

Базы данных


ЭБС IPRBooks- результаты поиска

Вид поиска
Электронный каталог
Картотека журнальных статей
Систематический имидж-каталог
Авторефераты диссертаций
Учебники и учебно-методические пособия СПХФУ
ЭБС IPRBooks
ЭБС Консультант студента
ЭБС Юрайт
Диссертации, защищенные в СПХФУ
Журнальный фонд СПХФУ
Библиотечный фонд техникума
ВКР
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=литография<.>)
Общее количество найденных документов : 6
Показаны документы с 1 по 6
1.
IPRBooks-73345
73345

    Хорин, И. А.
    Технологии электронной компонентной базы [Электронный ресурс] : учебное пособие / Хорин И. А. - Саратов : Ай Пи Эр Медиа, 2018. - 278 с. - ISBN 978-5-4486-0210-8 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:
УДК
62
ББК 32.85

Кл.слова (ненормированные):
компонентная база -- нанотехнология -- полупроводник -- радиоэлектроника -- технология
Аннотация: В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии «Кремний на изоляторе» и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».

(для доступа требуется авторизация)

Свободных экз. нет
Найти похожие
2.
IPRBooks-56066
56066

    Юрчук, С. Ю.
    Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами [Электронный ресурс] : курс лекций / Юрчук С. Ю. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2013. - 45 с. - ISBN 978-5-87623-662-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:
УДК
539
ББК 32.81

Кл.слова (ненормированные):
математическое моделирование -- субмикронная структура -- фотолитография -- электронная литография
Аннотация: Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываются на процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, который вносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости. Предназначен для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника».

(для доступа требуется авторизация)

Свободных экз. нет
Найти похожие
3.
IPRBooks-13950
13950

    Данилина, Т. И.
    Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие / Данилина Т. И. - Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Эль Контент, 2011. - 96 с. - ISBN 978-5-91191-202-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:
УДК
621.382
ББК 32.852

Кл.слова (ненормированные):
куф-диапазон -- нанолитография -- наноэлектроника -- оптическая литография -- уф-диапазон -- эуф-диапазон
Аннотация: Освещаются следующие разделы в области создания и исследования объектов наноэлектроники: нанолитография, оптическая литография, УФ-, КУФ-, ЭУФ- диапазоны, литография сканирующими электронными и ионными пучками, оборудование для получения остросфокусированных пучков электронов и ионов, наноимпринтинговая литография, технология наноразмерных структур и методы исследования с помощью сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ), оборудование и методики применения СЗМ для технологических целей, технологии изготовления наноструктур с помощью сфокусированного ионного пучка (FIB-технология), технология наноструктурирования, самоформирующиеся 3D-наноструктуры для приборов наноэлектроники и наномеханики. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ- диапазона и дискретных полупроводниковых приборов

(для доступа требуется авторизация)


Доп.точки доступа:
Чистоедова, И. А.
Свободных экз. нет
Найти похожие
4.
IPRBooks-65811
65811

    Гатчин, Ю. А.
    Введение в микроэлектронику [Электронный ресурс] : учебное пособие / Гатчин Ю. А. - Санкт-Петербург : Университет ИТМО, 2010. - 114 с. - Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:
УДК
62
ББК 32.84

Кл.слова (ненормированные):
диагностический контроль -- интегральная схема -- литография -- микроэлектроника -- тонкая пленка
Аннотация: В учебном пособии рассмотрены физические основы микроэлектроники, интегральные схемы и их технологии производства. Учебное пособие соответствует утвержденным учебным программам по направлениям 210202 — «Проектирование и технология электронно-вычислительных средств» для специалистов и 210200.05 — «Информационные технологии проектирования электронных средств» для магистров техники и технологии, а также 200100 и 200101 — «Приборостроение» для бакалавров и дипломированных специалистов. Предназначено для студентов и магистров факультетов КТиУ и ТМиТ, изучающих дисциплины «Физические основы микроэлектроники.

(для доступа требуется авторизация)


Доп.точки доступа:
Ткалич, В. Л.; Виволанцев, А. С.; Дудников, Е. А.
Свободных экз. нет
Найти похожие
5.
IPRBooks-67435
67435

    Ворзобова, Н. Д.
    Оптические методы формирования микроэлементов информационных систем [Электронный ресурс] : учебное пособие / Ворзобова Н. Д. - Санкт-Петербург : Университет ИТМО, 2008. - 77 с. - Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:
УДК
535
ББК 32.81

Кл.слова (ненормированные):
голография -- литография -- микроструктура -- оптика -- физика -- фотоника
Аннотация: В учебном пособии рассмотрены процессы формирования микроструктурных элементов фотоники и информационных систем, основанные на методах оптической литографии, голографии и фотоотверждения полимеров. Приведены основы современных технологий получения элементов и структур микронных, субмикронных и нано-размеров. Пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоинформатика», а также студентов других оптических и информационных специальностей

(для доступа требуется авторизация)


Доп.точки доступа:
Денисюк, И. Ю.
Свободных экз. нет
Найти похожие
6.
IPRBooks-98939
98939

    Кузнецов, Г. Д.
    Элионная технология в микро- и наноиндустрии [Электронный ресурс] : курс лекций / Кузнецов Г. Д. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2008. - 156 с. - Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:
УДК
62
ББК 32.85

Кл.слова (ненормированные):
ионная имплантация -- литография -- нанотехнология -- электроника -- элионная технология
Аннотация: В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии. Учитывая, что в рассматриваемых процессах основную роль играют электроны и ионы, принято для краткости называть технологию элионной. Соответствует программе курса «Элионная технология в микро- и нано-индустрии». Предназначено для подготовки специалистов по направлению 210100 «Электроника и микроэлектроника» и может быть полезно для обучающихся по направлению 210600 «Нанотехнология», 210601 «Нанотехнология в электронике» и по специальности 210602 «Наноматериалы».

(для доступа требуется авторизация)


Доп.точки доступа:
Кушхов, А. Р.; Билалов, Б. А.
Свободных экз. нет
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика обращений
Статистика
за 26.06.2024
Число запросов 0
Число посетителей 0
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)