Версия для слабовидящих: Вкл Выкл Изображения: Вкл Выкл Размер шрифта: A A A Цветовая схема: A A A A
Главная ИРБИС64+ Упрощенный режим Описание
Авторизация
Логин
Пароль
 

Базы данных


ЭБС IPRBooks- результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=полупроводниковая техника<.>)
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.
IPRBooks-93336
93336

    Липатов, Г. И.
    Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения [Электронный ресурс] : учебное пособие / Липатов Г. И. - Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. - 85 с. - ISBN 978-5-7731-0798-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:
УДК
ББК 32.84

Кл.слова (ненормированные):
метод -- микроэлектроника -- парогазовая фаза -- пленочный материал -- полупроводниковая техника -- ректификация
Аннотация: В учебном пособии приводятся теоретические сведения о физико-химических основах получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методах очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок и слоев с использованием рассмотренных методов. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Физико-химические основы нанотехнологии» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»).

(для доступа требуется авторизация)

Свободных экз. нет
Найти похожие

2.
IPRBooks-93336
93336

    Липатов, Г. И.
    Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения [Электронный ресурс] : учебное пособие / Липатов Г. И. - Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. - 85 с. - ISBN 978-5-7731-0798-9 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:
УДК
ББК 32.84

Кл.слова (ненормированные):
метод -- микроэлектроника -- парогазовая фаза -- пленочный материал -- полупроводниковая техника -- ректификация
Аннотация: В учебном пособии приводятся теоретические сведения о физико-химических основах получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методах очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок и слоев с использованием рассмотренных методов. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Физико-химические основы нанотехнологии» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»).

(для доступа требуется авторизация)

Свободных экз. нет
Найти похожие

 
Статистика
за 29.06.2024
Число запросов 0
Число посетителей 0
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)