Вяткин, А. Ф. Взаимодействие лазерных, электронных и ионных пучков с поверхностью твердых тел. Ч.3. Взаимодействие ионных пучков с поверхностью твердых тел [Электронный ресурс] : курс лекций / Вяткин А. Ф. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2001. - 138 с. - Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): ионная имплантация -- ионный пучок -- монокристалл -- радиационный дефект -- твердое тело -- физический процесс Аннотация: В курсе лекций рассматриваются физические процессы, сопровождающие взаимодействие ионных пучков с твердыми телами. Решаются задачи определения пробега ионов в твердых телах и их распределение. Подробно рассматриваются процессы обратного рассеяния ионов, ионной имплантации, распыления твердых тел ионной бомбардировкой. Детально описываются процессы каналирования ионов в монокристаллических твердых телах и использование этого явления для анализа структуры поверхностных слоев монокристаллов. Предназначен для студентов, обучающихся по специальностям 5401, 0709, и 0710. Свободных экз. нет |