Камлюк, В. С. Технологическое оборудование для микроэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие / Камлюк В. С. - Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2014. - 392 с. - ISBN 978-985-503-369-2 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): вакуумная система -- кремниевая пластина -- микросхема -- микроэлектроника -- технологическое оборудование Аннотация: Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования. Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования. Доп.точки доступа: Камлюк, Д. В. Свободных экз. нет |