Пинахин, И. А. Основы объемного импульсного лазерного упрочнения инструментальных и конструкционных материалов [Электронный ресурс] : монография / Пинахин И. А. - Ставрополь : Северо-Кавказский федеральный университет, 2014. - 160 с. - ISBN 978-5-9296-0689-2 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): износ инструмента -- импульсное упрочнение -- инструментальный материал -- конструкционный материал -- лазерная закалка -- лазерное легирование -- лазерное упрочнение -- объемное упрочнение -- твердосплавный инструмент Аннотация: В работе приведены результаты исследования условий возбуждения ударной волны в различных материалах, в результате чего модифицируется их структура с повышением физико-механических свойств по локальному объему. За счет обзора существующих методов упрочнения материалов с применением лазеров и объемных методов упрочнения показана технико-экономическая эффективность разработанного авторами метода объемного импульсного лазерного упрочнения для изделий, которые при некотором изменении геометрических параметров не теряют своей работоспособности (режущий и буровой инструмент, траки гусеничных машин, дорожные резцы, рабочие органы землеройных и сельскохозяйственных машин, дорожные резцы и др.). Адресована инженерам, преподавателям и студентам технических специальностей. Доп.точки доступа: Черниговский, В. А. Свободных экз. нет |
Лазеры в микро- и наноэлектронике [Электронный ресурс] : учебное пособие / Малюков С. П. - Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2018. - 111 с. - ISBN 978-5-9275-3083-0 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): газовый лазер -- лазер -- лазерное излучение -- лазерное легирование -- лазерное окисление -- лазерный отжиг -- микроэлектроника -- наноэлектроника -- полупроводниковый лазер -- твердотельный лазер Аннотация: Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности. Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», а также для специалистов в области лазерных технологий. Доп.точки доступа: Малюков, С. П.; Саенко, А. В.; Клунникова, Ю. В.; Палий, А. В. Свободных экз. нет |
Светличный, А. М. Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии [Электронный ресурс] : учебное пособие / Светличный А. М. - Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2017. - 104 с. - ISBN 978-5-9275-2395-5 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): лазерная планаризация -- лазерное легирование -- микротехнология -- нанотехнология -- пленка вольфрама -- полупроводниковая поверхность -- технологический процесс -- фотонная обработка -- фотонно-стимулированный процесс -- фотонное излучение Аннотация: В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 - Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии». Доп.точки доступа: Житяев, И. Л. Свободных экз. нет |