Мухуров, Н. И. Электромеханические микроустройства [Электронный ресурс] / Мухуров Н. И. - Минск : Белорусская наука, 2012. - 258 с. - ISBN 978-985-08-1419-7 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): анодный оксид -- метод получения -- микроструктура -- электромеханическое микроустройство Аннотация: Рассмотрены принципы формирования анодного оксида алюминия, приведены его основные физико-механические свойства, технологические методы получения планарных и объемных микроструктур. Выведены обобщенные универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в электростатических, электротоковых и др. микроактюаторах. Определены основные закономерности соотношения входных и выходных параметров в процессе полного функционального цикла. Предложена классификация электростатических микроустройств по конструктивному исполнению и приведены соответствующие типовые примеры с расчетным аппаратом. Для инженерно-технических и научных работников различных отраслей промышленности (приборостроительной, радиотехнической и др.), связи, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей радиотехнических специальностей вузов. Доп.точки доступа: Ефремов, Г. И. Свободных экз. нет |