Физико-технические основы микро- и наноустройств [Электронный ресурс] : учебное пособие / сост.: И. Н. Еремина, А. Г. Саноян. - Самара : РЕАВИЗ, 2012. - 60 с. - Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): микроустройства -- наноустройства -- учебное пособие -- физическая среда Аннотация: В пособии изложены теоретические положения и физико-технические методы анализа параметров физических сред и элементов конструкций, используемых в конструкторско-технологической практике создания микро-и наноустройств. Приведен большой круг задач и упражнений по рассматриваемой тематике. Форма представления учебного материала ориентирована на значительный объем самостоятельной работы студентов. Методические указания рекомендуются для студентов и специалистов, связанных по роду своей деятельности с вопросами создания микро- и наноразмерных биотехнических устройств. Доп.точки доступа: Еремина, И. Н. \сост.\; Саноян, А. Г. \сост.\ Свободных экз. нет |
Мухуров, Н. И. Электромеханические микроустройства [Электронный ресурс] / Мухуров Н. И. - Минск : Белорусская наука, 2012. - 258 с. - ISBN 978-985-08-1419-7 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): анодный оксид -- метод получения -- микроструктура -- электромеханическое микроустройство Аннотация: Рассмотрены принципы формирования анодного оксида алюминия, приведены его основные физико-механические свойства, технологические методы получения планарных и объемных микроструктур. Выведены обобщенные универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в электростатических, электротоковых и др. микроактюаторах. Определены основные закономерности соотношения входных и выходных параметров в процессе полного функционального цикла. Предложена классификация электростатических микроустройств по конструктивному исполнению и приведены соответствующие типовые примеры с расчетным аппаратом. Для инженерно-технических и научных работников различных отраслей промышленности (приборостроительной, радиотехнической и др.), связи, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей радиотехнических специальностей вузов. Доп.точки доступа: Ефремов, Г. И. Свободных экз. нет |