Королев, А. П. Автоматизация технологического проектирования РЭС [Электронный ресурс] : учебное пособие / Королев А. П. - Тамбов : Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2012. - 77 с. - Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): автоматизация проектирования -- диагностика наноструктур -- интегральная микротехнология -- моделирование микротехнологий -- наноструктурный материал -- проектирование рэс -- технологическое проектирование -- физико-топологическое проектирование Аннотация: Рассмотрены вопросы моделирования интегральных микротехнологий, физико-топологического проектирования и процессы получения наноструктурных материалов для элементов РЭС. Предназначено для студентов специальности 210201 при изучении общеинженерного курса «Автоматизация технологического проектирования радиоэлектронных средств», магистрантов направления 150100 «Материаловедение и технологии материалов» при изучении курсов «Основы технологии покрытий» и «Электровакуумные технологии получения пленок и многослойных покрытий» и бакалавров направления 150100 при изучении курсов «Математическое моделирование процессов твердофазных технологий», «Технологические процессы микро- и наноэлектроники» и «Теория геретоструктур» всех форм обучения. Доп.точки доступа: Баршутин, С. Н. Свободных экз. нет |