Федоров, А. В. Специальные методы измерения физических величин [Электронный ресурс] : учебное пособие / Федоров А. В. - Санкт-Петербург : Университет ИТМО, 2014. - 130 с. - Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): атомно-силовая микроскопия -- изучение наноструктуры -- метод измерения -- нанолитография -- оптическая спектроскопия -- рентгеновская спектроскопия -- туннельная микроскопия -- физическая величина -- экспериментальный метод -- электронная микроскопия Аннотация: В учебном пособии рассматриваются современные экспериментальные методы изучения наноструктур, включая электронную и атомно-силовую микроскопию, рентгеновскую спектроскопию, а также стационарную и нестационарную оптическую спектроскопию. Учебное пособие предназначено для обучения магистров по направлению 200700 «Фотоника и оптоинформатика» в рамках Магистерской программы 200700.68 «Физика наноструктур» для изучения дисциплины «Специальные методы измерения физических величин». Материал может быть рекомендован для студентов старших курсов физико-технических специальностей, а также при подготовке магистров и аспирантов, специализирующихся в области применения оптических методов в нанотехнологиях. Доп.точки доступа: Баранов, А. В.; Литвин, А. П.; Черевков, С. А. Свободных экз. нет |
Данилина, Т. И. Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие / Данилина Т. И. - Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Эль Контент, 2011. - 96 с. - ISBN 978-5-91191-202-3 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): куф-диапазон -- нанолитография -- наноэлектроника -- оптическая литография -- уф-диапазон -- эуф-диапазон Аннотация: Освещаются следующие разделы в области создания и исследования объектов наноэлектроники: нанолитография, оптическая литография, УФ-, КУФ-, ЭУФ- диапазоны, литография сканирующими электронными и ионными пучками, оборудование для получения остросфокусированных пучков электронов и ионов, наноимпринтинговая литография, технология наноразмерных структур и методы исследования с помощью сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ), оборудование и методики применения СЗМ для технологических целей, технологии изготовления наноструктур с помощью сфокусированного ионного пучка (FIB-технология), технология наноструктурирования, самоформирующиеся 3D-наноструктуры для приборов наноэлектроники и наномеханики. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ- диапазона и дискретных полупроводниковых приборов Доп.точки доступа: Чистоедова, И. А. Свободных экз. нет |
Курочка, С. П. Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии: методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций [Электронный ресурс] : учебное пособие / Курочка С. П. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2015. - 82 с. - ISBN 978-5-87623-940-2 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): нанолитография -- наноразмерная гетероструктура -- нанотехнология -- одноэлектронный транзистор -- полевой транзистор -- электроника Аннотация: В результате анализа условий проявления квантово-размерных эффектов, возникающих в многослойных тонкопленочных структурах, уточнены требования к технологическим процессам формирования наноструктурированных гетерокомпозиций. Анализируются как базовые традиционные методы формирования с применением нанолитографии – молекулярно-лучевая эпитаксия и газофазная эпитаксия из металлоорганических соединений, так и специфические – зондовая нанотехнология и самоорганизация упорядоченных наноструктур на полупроводниковых подложках. В качестве практического применения наноструктурированных гетерокомпозиций рассмотрены конструкция и принцип работы полевого транзистора с высокой подвижностью носителей и одноэлектронный транзистор. Предназначено для магистрантов, обучающихся по направлениям 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника». Доп.точки доступа: Сергиенко, А. А. Свободных экз. нет |