Кручинин, Д. Ю. Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей [Электронный ресурс] : учебное пособие / Кручинин Д. Ю. - Екатеринбург : Уральский федеральный университет, ЭБС АСВ, 2014. - 52 с. - ISBN 978-5-7996-1110-1 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): зеркальное покрытие -- маскирующее покрытие -- оптическая деталь -- оптическая шкала -- производство детали -- фотолитографическая технология -- фотолитографическое оборудование -- фотолитография -- фоторезист -- фотошаблон Аннотация: Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографическими технологиями. Доп.точки доступа: Фарафонтова, Е. П. Свободных экз. нет |
Кручинин, Д. Ю. Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей [Электронный ресурс] : учебное пособие для СПО / Кручинин Д. Ю. - Саратов, Екатеринбург : Профобразование, Уральский федеральный университет, 2019. - 49 с. - ISBN 978-5-4488-0454-0, 978-5-7996-2891-8 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): зеркальное покрытие -- оптическая деталь -- оптическая шкала -- топология -- фотолитография Аннотация: В учебном пособии изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал, рассматриваются оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Учебное пособие предназначено для изучения дисциплин «Оборудование и технология обработки оптических деталей», «Технология изготовления оптических деталей» по укрупненной группе специальностей и профессий среднего профессионального образования 12.00.00 «Фотоника, приборостроение, оптические и биотехнические системы и технологии». Доп.точки доступа: Фарафонтова, Е. П.; Дерябина, В. А. \ред.\ Свободных экз. нет |