Лазеры в микро- и наноэлектронике [Электронный ресурс] : учебное пособие / Малюков С. П. - Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2018. - 111 с. - ISBN 978-5-9275-3083-0 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): газовый лазер -- лазер -- лазерное излучение -- лазерное легирование -- лазерное окисление -- лазерный отжиг -- микроэлектроника -- наноэлектроника -- полупроводниковый лазер -- твердотельный лазер Аннотация: Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности. Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», а также для специалистов в области лазерных технологий. Доп.точки доступа: Малюков, С. П.; Саенко, А. В.; Клунникова, Ю. В.; Палий, А. В. Свободных экз. нет |
Жмудь, В. А. Электронные системы для прецизионного управления лазерным излучением [Электронный ресурс] : учебное пособие / Жмудь В. А. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2017. - 435 с. - ISBN 978-5-7782-3325-6 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): акустооптический модулятор -- квантовая электроника -- лазерная система -- лазерное излучение -- метрология -- полупроводниковый лазер -- прецизионное управление -- система управления -- фазовый детектор -- электронная система Аннотация: Пособие содержит детальный разбор основных задач по разработке и созданию прецизионных систем управления лазерным излучением для метрологических целей и фундаментальных физических исследований, дополненный изложением личного опыта автора и сведениями, необходимыми для развития подобной техники на современном этапе. Работа подготовлена на кафедре автоматики и предназначена студентам факультета автоматики и вычислительной техники в качестве основного пособия по курсу «Системы автоматического управления высшей точности» и студентам физико-технического факультета - по курсу «Электронные системы управления лазерным излучением». Свободных экз. нет |