Бублик, В. Т. Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур. Рентгеновская рефлектометрия [Электронный ресурс] : учебное пособие / Бублик В. Т. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2016. - 84 с. - ISBN 978-5-87623-982-2 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): дифракционный метод -- диффузное рассеяние -- материал -- приборная структура -- рентгеновская рефлектометрия Аннотация: Кратко изложены теоретические основы метода рентгеновской рефлектометрии. Содержание пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», читаемому по направлению подготовки магистров 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» по программе «Материаловедение функциональных материалов наноэлектроники». Необходимость издания пособия определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует. Предназначено для магистров, обучающихся по направлению 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» по программе «Материаловедение функциональных материалов наноэлектроники». Доп.точки доступа: Щербачев, К. Д.; Воронова, М. И. Свободных экз. нет |
Бублик, В. Т. Дифракционные методы изучения поверхностных слоев и приборных структур [Электронный ресурс] : учебное пособие / Бублик В. Т. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2001. - 100 с. - Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): деформация -- дифракционный метод -- поверхностный слой -- приборная структура -- рентгеновское излучение Аннотация: Содержание предлагаемого пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», читаемому в качестве спецкурса студентам специальности 071000 «Материаловедение и новые технологии». В нем кратко изложены теоретические основы дифракционных методов изучения структуры поверхности и основы дифрактометрии высокого разрешения, рассматриваемой в качестве основного инструментального метода. Показана связь деформаций в сложных многослойных структурах с измеряемыми рентгенодифрактометрическими методами характеристиками: средними деформациями, усредненными по толщине гетероструктуры, профилями деформации, кривизной. Пособие по этой тематике издается впервые. Необходимость издания определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует. Доп.точки доступа: Щербачев, К. Д. Свободных экз. нет |