Основы технологии электронной компонентной базы [Электронный ресурс] : учебно-методическое пособие / Рабинович О. И. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2015. - 59 с. - Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): полупроводник -- спектрофотометрия -- тонкопленочная структура -- турбомолекулярный насос -- электроника Аннотация: В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Основы технологии электронной компонентной базы». Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.04.04 – «Электроника и наноэлектроника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, и может быть полезно при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ. Доп.точки доступа: Рабинович, О. И.; Крутогин, Д. Г.; Маренкин, С. Ф.; Подгорная, С. В. Свободных экз. нет |