Светличный, А. М. Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения [Электронный ресурс] : учебное пособие / Светличный А. М. - Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2018. - 96 с. - ISBN 978-5-9275-3097-7 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): лазер -- микроструктура -- нанотехнологии -- полупроводниковая структура -- суперконденсатор -- фотонный поток Аннотация: В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, изготовления суперконденсаторов, матричных острийных структур, супергидрофобных и супергидрофильных поверхностей. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии». Доп.точки доступа: Житяев, И. Л. Свободных экз. нет |