Игнатов, А. Н. Химико-технологические основы микро и наноэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие / Игнатов А. Н. - Новосибирск : Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики, 2011. - 213 с. - Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- наноэлектроника -- химико-технологическая основа -- электроактивный полимер Аннотация: Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлениям 210400-«Телекоммуникации», 210600 «Нанотехнологии», 210100 «Электроника и наноэлектроника», 211000 «Конструирование и технология электронных средств», 210700 «Инфокоммуникационные технологии и системы связи». Доп.точки доступа: Решетнева, И. В. Свободных экз. нет |