Пархоменко, Ю. Н. Выращивание кристаллов. Выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления [Электронный ресурс] : лабораторный практикум / Пархоменко Ю. Н. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2017. - 54 с. - Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): кристалл -- структура -- схема Аннотация: Практикум включает в себя материал, необходимый для подготовки и проведения лабораторной работы по выращиванию кристаллических пленок методом магнетронного напыления по курсу «Выращивание кристаллов». Изложены основы теории магнетронного напыления, дано описание аппаратуры, методик напыления и оценки качества полученных кристаллических пленок. Цель лабораторного практикума – приобретение студентами теоретических знаний и практических навыков по напылению монокристаллических пленок с применением метода магнетронного распыления в постоянном и высокочастотном электромагнитном поле. В процессе выполнения лабораторной работы студенты осваивают теорию и метод выращивания кристаллических пленок путем магнетронного напыления, овладевают навыками выбора материала и подготовки подложки для эпитаксиальной кристаллизации, осваивают методику работы и напыляют пленки на установке магнетронного напыления SunPla-40, исследуют структуру и проводят анализ влияния технологических факторов на структуру и физические свойства выращенных кристаллических пленок. Лабораторный практикум предназначен для студентов, обучающихся по направлению подготовки магистров 22.04.01 «Материаловедение и технология материалов» по программе «Кристаллы квантовой и оптической электроники». Доп.точки доступа: Антипов, В. В.; Жуков, Р. А.; Кугаенко, О. М.; Петраков, В. С. Свободных экз. нет |
Антипов, В. В. Технология материалов и изделий электронной техники [Электронный ресурс] : выращивание монокристаллов из расплавов. Лабораторный практикум / Антипов В. В. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2002. - 109 с. - Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): монокристалл -- расплав -- электронная техника Аннотация: Изложены важнейшие методы выращивания монокристаллов из расплава, их детальный анализ, основные требования к промышленному оборудованию, характеристики отдельных технологических операций. В большинстве работ используется современный математический аппарат, необходимый не только для описания разнообразных кристаллизационных процессов, но и для поисков путей повышения однородности выращиваемых кристаллов. В практикум включены также многие новейшие перспективные технологические разработки. Рассмотрены вопросы выбора методов выращивания, механизмы формирования ростовых дефектов, проблемы повышения однородности выращиваемых из расплава монокристаллических материалов и др. Лабораторный практикум предназначен для студентов специализации «Техническая физика» направления 553100. Соответствует Государственному образовательному стандарту программы «Физика кристаллов оптики и акустоэлектроники». Доп.точки доступа: Розин, К. М. Свободных экз. нет |