Беркин, А. Б. Физические основы вакуумной техники [Электронный ресурс] : учебное пособие / Беркин А. Б. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2014. - 84 с. - ISBN 978-5-7782-2424-7 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): вакуумная техника -- преобразователь давления -- техника течеискания -- физическая основа Аннотация: Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования. Доп.точки доступа: Василевский, А. И. Свободных экз. нет |