Бублик, В. Т. Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур. Рентгеновская рефлектометрия [Электронный ресурс] : учебное пособие / Бублик В. Т. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2016. - 84 с. - ISBN 978-5-87623-982-2 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): дифракционный метод -- диффузное рассеяние -- материал -- приборная структура -- рентгеновская рефлектометрия Аннотация: Кратко изложены теоретические основы метода рентгеновской рефлектометрии. Содержание пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», читаемому по направлению подготовки магистров 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» по программе «Материаловедение функциональных материалов наноэлектроники». Необходимость издания пособия определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует. Предназначено для магистров, обучающихся по направлению 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» по программе «Материаловедение функциональных материалов наноэлектроники». Доп.точки доступа: Щербачев, К. Д.; Воронова, М. И. Свободных экз. нет |
Бублик, В. Т. Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур [Электронный ресурс] : ионная имплантация. Учебное пособие / Бублик В. Т. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2013. - 67 с. - ISBN 978-5-87623-695-1 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): дифракционный метод -- ионная имплантация -- материал Аннотация: В пособии кратко изложены теоретические основы дифракционных методов изучения структуры поверхности и основы дифрактометрии высокого разрешения, рассмотренной в качестве основного инструментального метода. Содержание пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», предназначенному для подготовки магистров и бакалавров по направлению 150100 «Материаловедение и технологии материалов», а также по направлению подготовки аспирантов 01.04.10 «Физика полупроводников». Необходимость издания пособия определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 150100 «Материаловедение и технологии материалов», по специальности 150601 «Материаловедение и технология новых материалов». Доп.точки доступа: Щербачев, К. Д.; Воронова, М. И.; Мильвидский, А. М. Свободных экз. нет |
Бублик, В. Т. Методы исследования материалов и структур в электронике. Рентгеновская дифракционная микроскопия [Электронный ресурс] : курс лекций / Бублик В. Т. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2006. - 93 с. - Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): дефект -- дифракционная теория -- микроскопия -- рентгеновская топограмма -- рентгеновский луч -- электроника Аннотация: В курсе лекций изложены основы динамической теории, геометрические аспекты формирования изображений и основные положения дифракционной теории формирования контраста на дефектах в разных схемах дифракции: схема отражения по Брэггу и Лауэ. Приведен качественный анализ характера контраста на дефектах различного типа. Для более полного усвоения материала приводится большой объем иллюстраций. Необходимо особо отменить, что подобного курса лекций, отвечающего современному уровню и объему данного раздела, в числе читаемых для указанных специальностей в настоящее время не имеется. Предназначено для студентов 4 и 5 курсов специальностей 071000, 200100 и направлений 5516, 5507, 5531, а также аспирантов специализирующихся в области физики и технологии роста кристаллов по специальностям: 01.24.10, 05.27.06 и 05.27.01. Доп.точки доступа: Мильвидский, А. М. Свободных экз. нет |
Бублик, В. Т. Дифракционные методы изучения поверхностных слоев и приборных структур [Электронный ресурс] : учебное пособие / Бублик В. Т. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2001. - 100 с. - Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): деформация -- дифракционный метод -- поверхностный слой -- приборная структура -- рентгеновское излучение Аннотация: Содержание предлагаемого пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», читаемому в качестве спецкурса студентам специальности 071000 «Материаловедение и новые технологии». В нем кратко изложены теоретические основы дифракционных методов изучения структуры поверхности и основы дифрактометрии высокого разрешения, рассматриваемой в качестве основного инструментального метода. Показана связь деформаций в сложных многослойных структурах с измеряемыми рентгенодифрактометрическими методами характеристиками: средними деформациями, усредненными по толщине гетероструктуры, профилями деформации, кривизной. Пособие по этой тематике издается впервые. Необходимость издания определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует. Доп.точки доступа: Щербачев, К. Д. Свободных экз. нет |