Ворзобова, Н. Д. Оптические методы формирования микроэлементов информационных систем [Электронный ресурс] : учебное пособие / Ворзобова Н. Д. - Санкт-Петербург : Университет ИТМО, 2008. - 77 с. - Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): голография -- литография -- микроструктура -- оптика -- физика -- фотоника Аннотация: В учебном пособии рассмотрены процессы формирования микроструктурных элементов фотоники и информационных систем, основанные на методах оптической литографии, голографии и фотоотверждения полимеров. Приведены основы современных технологий получения элементов и структур микронных, субмикронных и нано-размеров. Пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоинформатика», а также студентов других оптических и информационных специальностей Доп.точки доступа: Денисюк, И. Ю. Свободных экз. нет |