Камлюк, В. С. Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие / Камлюк В. С. - Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2016. - 384 с. - ISBN 978-985-503-627-3 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): интерфейс -- машина -- мехатроника -- мехатронный модуль -- микроэлектроника -- радиоэлектроника -- технологическое оборудование Аннотация: Представлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элементы – аппаратные и программные интерфейсы, пути организации данной связи с целью снижения аппаратных интерфейсов. Отдельные главы посвящены надежности и техническому диагностированию, обслуживанию и ремонту мехатронных систем. Предназначено для учащихся учреждений среднего специального образования, обучающихся по специальности «Мехатроника» (специализация «Мехатроник 5-го разряда (радиоэлектронное производство)»). Доп.точки доступа: Камлюк, Д. В. Свободных экз. нет |
Камлюк, В. С. Технологическое оборудование для микроэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие / Камлюк В. С. - Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2014. - 392 с. - ISBN 978-985-503-369-2 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): вакуумная система -- кремниевая пластина -- микросхема -- микроэлектроника -- технологическое оборудование Аннотация: Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования. Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования. Доп.точки доступа: Камлюк, Д. В. Свободных экз. нет |