Бублик, В. Т. Дифракционные методы изучения поверхностных слоев и приборных структур [Электронный ресурс] : учебное пособие / Бублик В. Т. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2001. - 100 с. - Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): деформация -- дифракционный метод -- поверхностный слой -- приборная структура -- рентгеновское излучение Аннотация: Содержание предлагаемого пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», читаемому в качестве спецкурса студентам специальности 071000 «Материаловедение и новые технологии». В нем кратко изложены теоретические основы дифракционных методов изучения структуры поверхности и основы дифрактометрии высокого разрешения, рассматриваемой в качестве основного инструментального метода. Показана связь деформаций в сложных многослойных структурах с измеряемыми рентгенодифрактометрическими методами характеристиками: средними деформациями, усредненными по толщине гетероструктуры, профилями деформации, кривизной. Пособие по этой тематике издается впервые. Необходимость издания определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует. Доп.точки доступа: Щербачев, К. Д. Свободных экз. нет |